基于Fluent的还原炉底盘温度场均匀化分析 王晓静,王磊,张芳,等 天津大学化工学院  全文: PDF   摘要： 关键词：  多晶硅还原炉;底盘;流体模拟;温度场 发表年限: 2013年 发表期号: 第6期